近期，万业企业旗下离子注入机龙头——凯世通半导体，持续斩获多家主流客户12英寸离子注入机采购订单。今年起在短短不到半年的时间里就已发货十余台高端离子注入机设备，展现出蓬勃发展的强劲势头。芯谋研究就此专访了万业企业总裁、凯世通董事长李勇军博士，听他讲述万业企业转型集成电路产业的蜕变与飞跃之路。
李勇军：上海交通大学材料学博士学历，曾获国家科技进步二等奖，深耕科技创投领域多年，在集成电路等高科技产业投资、企业经营管理、专业基金运作等方面具备丰富的实践经验，曾主导投资过多起集成电路重大并购项目。
芯谋研究：离子注入机是与光刻机、刻蚀机并列的三大半导体设备，其中技术难点很多，万业旗下凯世通大束流离子注入机在哪些方面获得了突破？
李勇军：离子注入机是一个庞大的系统，包括了离子源、光路系统、注入平台、控制软件等众多子系统，凯世通拳头产品低能大束流离子注入机在精确控制、离子源寿命、质量分析、束流自动调节等方面都有突破，是一种整体性的提升，因为任何一个细节掉链子，机台的整体水平都上不去。在这其中，我们至少进行了几百项的技术升级，包括硬件与软件各个方面，是一项复杂的系统性工程。在保证质量和工艺覆盖率的前提下，我们技术攻坚围绕两个目标，一个是单位产出效率，一个是设备有效稳定工作的时间。例如，精确控制跟产品质量息息相关，离子束打不准，产品的均匀性以及寿命就会受到影响。再比如，如果三天两头换离子源，对产能就有影响，从而导致用户成本的上升。所以只有全面地提升，才能跟海外设备竞争。
芯谋研究：设备国产化任务艰巨又急迫，在技术追赶的过程中，正向设计与逆向设计相比，哪种模式更为高效？
李勇军：从长远的视角来看，正向设计无疑是更优的选择。从救急的角度，求快的角度，逆向设计肯定更快。正向设计相对慢，但能做到知其然、知其所以然，为后面的修正提高打下坚实的基础。逆向设计即使在各方面都抄得一模一样，拿到Fab产线也不见得好用，这里面很多的关键技术细节和know-how（诀窍）如果不清楚，但凡出了问题，逆向设计就可能陷入束手无策的境地。相反，正向设计使我们能够逐步探索和优化技术，了解每一个环节的改进空间，从而不断提升产品的性能和竞争力。万业企业的长远目标是成为具有全球竞争力的产业化设备供应商，因此我们必须立足于正向设计，以确保我们能够不断推动技术的创新和突破。
芯谋研究：从产品研发成功到Fab产线广泛采用，中间有相当长的一段距离，目前凯世通产品的产线应用和采购情况如何？
李勇军：在设备领域，实现产业化与重复订单是设备表现的最好标志。凯世通低能大束流离子注入机系列与高能离子注入机在多家重点12英寸晶圆厂担任离子注入工艺的主力机型，持续收获了多家客户的批量重复订单，覆盖逻辑、存储、功率、CIS等多个应用领域。除此之外，我们还积极推进全系列离子注入机的产业化，包括SOI氢离子注入机、6/8吋SiC高温离子注入机、中束流离子注入机、超高能离子注入机等特色工艺设备及卡脖子设备。
芯谋研究：国产设备需要和上下游协作才能取得成功，这也是过去这些年制约设备产业的瓶颈，现在协作的问题解决了吗？
李勇军：当前，设备产业上下游的协作情况相比以前已经有了显著的改善。然而，我仍然要强调上下游协作的重要性。产业发展的经验告诉我们，闭门造车式的研发是不可取的。只有通过实际产线上的应用，我们才能准确发现设备存在的问题，并找到改进的方向。零部件的验证同样如此，仅仅在实验室中测量验收是远远不够的，只有在设备上长期使用，才能真正了解其性能和改进空间。
离子注入机是国产化率最低的设备之一，不仅是因为它系统复杂、研发门槛高，也是因为离子注入的工艺结果验证困难，不能像其他设备一样通过光学检测查看产品质量，只能等到三个月后芯片做完测试电性能时才知道注入结果，因此初次使用未经验证的设备对于Fab风险很大，离子注入机也被称为“厂长杀手”。但是，国产设备不上产线无法成熟，产线使用新设备也难免面临风险，这确实是一个两难的问题。
到底怎么才能让客户无后顾之忧？我认为在金融创新方面可以寻求一些解决方案。例如Fab使用国产新机台应该有相应的保险。创新和风险是相伴相生的，鼓励创新必须敢冒风险，冒风险怎样把风险降到最小？如果有某个机构设立一个国产设备上线使用的保险来给Fab兜底，使用国产设备的两难问题就可以解决了。
此外，从产业层面来看，我们还需要更多的细化政策和机制来协调推进上下游协作。首先，要鼓励Fab积极使用国产设备；其次，也要激发Fab内部员工使用国产设备的积极性。这两者虽然听起来相似，但实际上涉及的是两个不同层面的问题。对于鼓励Fab使用国产设备这一点很好理解，但企业购入国产设备后，如果Fab产线上的人员缺乏积极性，那么这些设备可能就无法发挥应有的作用。因此，产业的推动需要从源头上理顺协作机制，对愿意使用国产设备的Fab给予一定的补贴，并对产线上的工程师实施特殊的考核和激励机制，以确保他们能够充分发挥国产设备的潜力。
芯谋研究：目前按增速看，半导体设备是整个行业的绩优生，但也是国产攻坚的主战场，让您给目前取得的成绩打分，能打多少分？原因是什么？
李勇军：这几年设备行业取得的成绩真的超出了我们的预期，如果100分是满分，我认为，起码可以得95分以上。设备行业之所以取得这么好的成绩，关键是有国家的扶持，和行业内每个人的不懈努力。再说得具体一些，就是国家理顺了机制，调动了资本的力量、调动了人性的力量，在举国体制之下，个人有机会实现最大价值。如果内外因素综合起来，那就是国际局势打开了国内市场和客户，科创板解决了创富的问题。可以说，科创板在中国半导体行业的飞速发展中起到了至关重要的作用。它为集成电路领域的先进企业和高速成长的企业提供了强大的融资能力，通过资本市场的高效运作，有效解决了市场化企业的融资问题，极大地激发了企业家的积极性和创新精神。当然，我们也不能忽视当前市场中出现的一些不良现象，如“鱼目混珠”的问题。对于这些问题，必须严格审核，确保市场的健康有序发展。同时，市场也要善于识别那些真正优秀的企业，给予它们足够的支持和帮助，使它们能够在条件成熟时上市并做大做强，为中国半导体行业的进一步发展贡献更大的力量。
芯谋研究：现在设备企业都在向平台型企业发展，目前产业并购正好是行业热点，万业企业在投资、并购方面有什么计划？
李勇军：作为万业总裁，我同时也是浦科投资创始合伙人，是上海半导体装备材料基金董事长，在高科技投资领域，我们有20多年的投资经验，曾经做过大量的投资并购项目，从芯片设计到装备材料，再到核心零部件与新兴应用领域，我们积攒了相当稳固的产业投资基础。在发展好已有业务的同时，我们也在积极寻找半导体领域的并购机会，让万业的羽翼更加丰满，打造一个身强体壮的半导体装备平台。我们有比较充足的现金储备，愿意勇于尝试和突破，但我们坚持宁缺毋滥，坚持只选择满足产业发展的需求，解决产业发展的瓶颈的优质项目。展望未来，万业企业将继续秉持开放与合作的姿态，与行业内外的伙伴携手共进，共同推动半导体产业的繁荣与发展。
芯谋研究：目前房地产行业面临着很大压力，一批企业折戟沉沙，我们不得不佩服企业转型的超前眼光，为什么在房地产业务还如日中天时选择急流勇退，还选择了半导体这个当时还不成气候的冷门赛道？
李勇军：我们这个团队有金融投资的背景，有政府工作的履历，也有实业报国的抱负，我们从2008年就开始发力半导体领域，远早于国家集成电路产业投资基金的成立。我们对这个产业很熟悉，我们这批人喜欢去啃硬骨头，除了情怀以外，也是因为我们不喜欢去拥挤的地方和别人扎堆去竞争。集成电路产业链很长，最基础的、最有难度，也是最薄弱的就是装备与材料，乃至更上游的零部件。一个产业只有基础牢固了，才能谈自立自强、长远发展。2015年浦科投资收购万业以后，推动万业向集成电路转型，方向就是装备与材料，万业承载着我们实现国产设备自立自强的梦想与抱负，个人与企业的发展轨迹要与国家的命运与需求紧密相连。
芯谋研究：中国离子注入机进步神速，从差三代到目前凯世通实现28nm低能离子注入工艺全覆盖，而且还生产、交付多款高端离子注入机系列产品。离子注入机领域距离自立自强预估需要多长时间？万业彻底转型成功还有多远？
李勇军：国产离子注入机自立自强，我个人觉得可能还需要一点时间。当然客户希望我们更快，现在我们在7×24小时搞研发，不停地测试、做实验、做升级，大家都很辛苦，凯世通的工程师们真的付出了很多，我们许多工程师真的是从早忙到晚，他们油门踩到底地干，这才有了我们追逐世界先进机台的底气。
万业距离彻底转型还有一段路要走。虽然我们的离子注入机技术已经相对成熟，收入规模处于倍增放量前夕，距离商业上的成功还有一步之遥。好在我们每一步都走得很扎实，这让我们对未来充满信心。此外，我们旗下子公司Compart在半导体设备零部件市场上也取得了不错的成绩，在细分零部件上我们向全球顶尖的设备公司供货，市场份额最高时能达到90%。但由于地缘政治的影响，后续想要持续发展还需要在海外设厂，这无疑是一个挑战。总体来说，我们已经有了坚实的基础，但要完全成功转型，还需要继续努力前行。我们将继续致力于技术创新和市场拓展，为客户提供更优质的产品和服务。
